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KAIJO楷捷/超聲波精密清洗機(jī)

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產(chǎn)品名稱: KAIJO楷捷/超聲波精密清洗機(jī)
產(chǎn)品型號(hào): 98SL型
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹


KAIJO楷捷/超聲波精密清洗機(jī)  的詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述:

KAIJO楷捷_98SL型_超聲波精密清洗
メガソニック洗浄(ハイメガソニック)

Si?ェ??、GaAs等の洗浄 液晶ガラスの洗浄 ガラスマスクの洗浄
ハードディスクの洗浄 水晶振動(dòng)子の洗浄 薄膜磁気ヘッドの洗浄
脆性材料等の洗浄 その他超精密洗浄
■特徴

メガソニック洗浄は超精密洗浄に威力を発揮する高周波洗浄機(jī)です。
半導(dǎo)體ウエハーや、液晶、HDDなどの超微粒子の除去にお使いいただいております。
高周波(750kHz、950kHz)のメガソニック洗浄は主に加速度で洗浄を行います。
このため、キャビテーションが殆ど発生しません。キャビテーションによるエロジョン(ダメージ)や定在波による洗浄ムラの解決に有効です。
■発振器特徴

●0.1Wパワー設(shè)定可能。高い電力安定性を?qū)g現(xiàn)。
ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に!
(200kHz以上に対応)
●4種類の特殊発振モード選択により、従來以上の高精度に精密洗浄が可能
●立上げ時(shí)?立下げ時(shí)のスピードを設(shè)定可能
●QUAVAシリーズはハイメガソニックシリーズとの互換性があり
発振器の入替で洗浄性能UPが可能。
●舊ハイメガ78101型に比べ81%に小型化、重さも17kgと軽量化!
●サイズは19インチラックに収納できる 規(guī)格化されたサイズ
●振動(dòng)子交換時(shí)の調(diào)整は原則不要(マッチングレス)
●用力はフリー電源方式のため、工場(chǎng)の電源電圧変動(dòng)などに左右されません
●10種類の周波數(shù)に対応しているので、後から振動(dòng)子を交換することで、
周波數(shù)の変更が可能。
対応周波數(shù):26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/
160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz

■発振器スペック

項(xiàng)目 仕様
定格出力 1200W ※
発振周波數(shù) 26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz
(振動(dòng)子の選択で変更)
発振モード PLL発振/固定発振/Aモード発振/Bモード発振
電源 電流 10A
電圧 AC200V~AC240V(±10% 1Φ 50/60Hz)
外形寸法 430(W) ×418(D) ×148(H)
重量 17Kg
主な機(jī)能 リモートモード
8段階出力
RS485通信
異常出力端子
アナログ出力(出力のモニタリング)
0-5V(標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定) or 4-20mA(出荷時(shí)切替可能)
※ 注:26kHz,38kHzの定格出力は600Wになります。 


仕様 ウェーハ6
振動(dòng)板仕様
ウェーハ8
振動(dòng)板仕様
ウェーハ12
振動(dòng)板仕様
型名 7857S型 8857S型 98SL型
許容入力 300Wx4 300Wx6 300Wx16
周波數(shù) 950kHz 950kHz 750kHz
振動(dòng)輻射面(mm) 136x163 165x215 275x319
振動(dòng)板材質(zhì) SU316L SU316L SU316L
振動(dòng)體 PZT PZT PZT
*高使用溫度 70℃ 70℃ 70℃
外形寸法
(WxDxHmm)
185x215x55 255x305x55 410x340x65
取付方法 ボルト固定 ボルト固定 ボルト固定

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